MET ONE 3411

Der transportable Luftpartikelzähler MET ONE 3411 wurde speziell für die Überwachung von Reinräumen der Halbleiterindustrie, dem Prozess Benchmarking und partikelsensitiven Anwendungen entwickelt.

  • Messbereich: 0.1 µm - 1 µm 
  • ISO 21501-4 konform
  • Sauberster 0.1 µm Partikelzähler auf dem Markt
  • Branchenführende Genauigkeit und Reproduzierbarkeit
  • Flexible Kommunikation mit Ihrem Betriebssystem

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Tech Docs Part Number Product Name Description Flow Rate Particle Size Analysis Range Listenpreis Kaufen
Wireless
28.32 L per minute
0.10|5.00|μm / 0.1|5|μm

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Gas Calibration
28.32 L per minute
0.10|5.00|μm / 0.1|5|μm

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Met One 3411
28.32 L per minute
0.10|5.00|μm / 0.1|5|μm

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For HEPA Test
28.32 L per minute
0.10|5.00|μm / 0.1|5|μm

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Wireless with Gas Calibration
28.32 L per minute
0.10|5.00|μm / 0.1|5|μm

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Eigenschaften

Der MET ONE 3411 hält alle globalen Qualitätsstandards ein

  • ISO 14644-1 Klasse 5
  • EU GMP Annex 1
  • ISO 21501-4
  • 21 CFR Part 11

Flexible Kommunikation – einfache Konfiguration und problemloser Datentransfer

Reduzieren Sie Papier-, Kopier- und Schreibarbeit. Nutzen Sie WIFI, Ethernet oder serielle Kommunikation für Ihr MET ONE Datenmanagement oder Ihre eigenen Softwarelösungen.

Intuitive Benutzeroberfläche

Die einfache Programmierung Ihrer Probenahmepläne über Bereich, Standort und sonstiger Parameter spart Zeit und verhindert Bedienungsfehler. Durch Replikation Ihrer Einstellungen auf einen USB-Stick übertragen Sie Ihre Konfigurationen ganz einfach auf Ihren gesamten Partikelzählerbestand.

Anwendungen für Luftpartikelzähler in der Halbleiterindustrie

  • Reinraumüberwachung
  • Qualifizierung ISO 14644
  • Reinraumüberprüfung
  • Reinraumpartikelüberwachung
  • Kontinuierliche Überwachung von
  • Produktionsprozessen
  • Prozessfehlersuche nach partikulären
  • Kontaminationsquellen
  • HEPA Filterleckermittlung über 0.1, 0.15, 0.2, 0.3, 0.5 and 1µm Größen
  • Filterscannen
  • Hochdruckgasüberwachung mit einfachem Gasauswahlmenü und automatischer Probenflusseinstellung

Spezifikationstabelle

Performance ISO 21501-4 unit-to-unit accuracy & reproducibility
Industry Standards ISO 21501-4 , 21 CFR Part 11, ISO 14644-1:2015, FCC, CE
Light Source Helium neon laser
Particle Size Analysis Range 0.10|5.00|μm / 0.1|5|μm
Flow Rate 28.32 L per minute
Coincidence Loss % at 1,765,000 particles/m3 (per ISO 21501-4 method)
Sample Volume 5.00|µm
Throughput 28.32 L per minute
Reporting EU GMP (2015), ISO 146441-1.2015, FS209E, BS5295, ISO 14644-1:1999
Zero Count ISO 21501-4 & JIS B 9921 (1 count or less in 5 minutes; 95% Upper Confidence Limit)
Counting Efficiency 50% at 0.1 μm (100% for particles > 0.15 μm per ISO 21501-4 & JIS B 9921)
Count Alarms Display and Cycles User-defined alarm counts, Raw counts: N/CF, N/CM, N/L in cumulative or differential mode
Item Specifications Referenced 2088800-01

Technische Dokumente